最新國家電子級超純水標準GB/T 11446.1-1997
中華人民共和國國家標準GB/T 11446.1-1997電子級超純水（Electronic grade water ）代替GB 11446.1–89
1.范圍
本標準規(guī)定了電子級超純水的級別、要求、試驗方法和檢驗規(guī)則.
本標準適用于電子元器件生產(chǎn)和清洗用水．
2.引用標準
下列標準所包含的條文，通過在本標準中引用麗構成為本標準的條文．本標準出版時，所示版本均為有效．所有標準都會被修訂，使用本標準的各方應探討使用下列標準最新版本的可能性．
GB/T 11446.3—1997 電子級水測試方法通則
GB/T 11446.4—l997 電子級水電阻率的測試方法
GB/T 11446.5—1997 電子級水中痕量金屬的原子吸收分光光度測試方法
GB/T 11446.6—1997 電子級水中二氧化硅的分光光度測試方法
GB/T 11446.7—1997 電子級水中痕量氯離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的離子色譜測試方法
GB/T 11446.8—1997 電子級水中總有機碳的測試方法
GB/T 11446.9—1997 電子級水中微粒的儀器測試方法
GB/T 11446.10—1997 電子級水細菌總數(shù)的濾膜培養(yǎng)測試方
3.定義
本標準采用下列定義：
3.1電子級水electronic grade water
制造電子元器件工藝過程中所用的高純水．
3.2電阻率resistivity
在規(guī)定溫度下1 cm2水溶液兩相對面之間測得的電阻值．通常用符號P表示，單位為Ω﹒cm，純水的理論電阻率為18.3 MΩ﹒cm (25℃)．
3.3全硅total silicon
水中可溶性硅和以二氧化硅膠體狀態(tài)存在的硅的總量．
3.4可溶性硅soluble silicon
以單一分子狀態(tài)存在于水中的溶解性硅酸鹽．
3.5微粒性物質(zhì)granular matter
除氣體以外，以非液態(tài)分散在水中，并形成非均相混合物的物質(zhì)．
3.6總有機碳(TOC) total organic carbon
水中以各種有機物形式存在的碳的總量．包括易被一般強氧化劑氧化的有機物和需用特殊方法氧化的有機物。
3.7吸附absorption
某些多孔性粒狀物質(zhì)由于表面活性作用而具有吸著某些物質(zhì)的能力。
3.8凝聚coagulation
在源水中加入某種電解質(zhì)后，水中帶有電荷的膠體微粒被電解質(zhì)中的異種電荷中和，從而使其聚集成較大顆粒而沉降的現(xiàn)象。
3.9絮凝flocculation
水中的微粒在一定條件下相互碰撞而集結為絮狀沉淀的現(xiàn)象。絮凝一般是在凝聚作用后緩慢進行，可除去水中更細的微粒。
3.10砂濾器sand filter
用于盛放不同直徑的砂粒，以除去源水中懸浮固體和混濁物的裝置。
3.11 活性碳過濾器activated carbon filter
裝有粒狀活性碳的過濾器，用于除去水中的可溶性有機物和過量的殘余氯。
3.12離子交換ion exchange
一種不溶性物質(zhì)與一種液體之間相互交換離子的可逆過程，該過程中物質(zhì)并無實質(zhì)性結構變化．
3.13去離子水deionized water
經(jīng)過離子交換處理，除去了呈離子形式的雜質(zhì)的高純水。
3. 14再生regeneration
離子交換過程操作循環(huán)中的一部分。在該部分中，用一定量的化學試劑通過離子交換樹脂使其恢復交換能力。
3.15復合床complex bed
將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂分別裝入兩個離子交換柱中，將兩柱串聯(lián)，使水依次通過兩個柱而被純化，復合床處理水的純度雖不及混合床，但操作較簡單。
3.16混合床mixed bed
將陽離子交換樹脂和陰離子交換樹脂混合均勻，填充于同一離子交換柱中，其純化效果相當于許多組合床串聯(lián)使用，出水質(zhì)量好但再生比較麻煩．
3.17電滲析electrodialysia
一種分離水中離子的方法。在電滲析器中，陰陽兩極之間用交替排列的陰、陽離子交換膜分隔成一系列小室，水流通過小室時，在直流電場作用下，水中陽離子向陰極方向移動，但不能通過陽膜；陰離子則相反．這樣就形成相間存在的濃、淡水室而達到提純水的目的。
3.18反滲透reverse osmosis
亦稱逆向滲透。一種利用滲透原理進行分離的方法。用半透膜將濃水和淡水隔開，并在濃水上施加比滲透壓更強的機械壓力，則濃水中大部分水透過半透膜而雜質(zhì)仍留在其中，達到分離提純的目的．
3.19反滲透膜reverse osmosis membrane
用于反滲透法制備純水的一種合成薄膜，其孔徑一般為0. 02 μm或更小，可用于除去無機離子、有機物、細菌等，使水純化。
3. 20微孔膜濾器membrane filter
一種平均孔徑（直徑）大于0. Olμm的薄膜，能把大于平均孔徑的微粒截留在其表面或附近。
3.21超過濾uhrafihration
一種過濾方法，在一定壓力下使水流通過超濾膜以除去水中的極細微粒、膠體和細菌等．
3.22終端terminal
高純水生產(chǎn)流程中經(jīng)過各道凈化工藝后，水的出口或使用地點。
4 分類
4.1電子級水分為四個級別；I級、Ⅱ級、Ⅲ級和Ⅳ級。
4.2標記
I級電子級水標記為：EW-I；
II級電子級水標記為；EW-Ⅱ；
III級電子級水標記為；EW-Ⅲ；
Ⅳ級電子級水標記為.EW-Ⅳ。
5 要求
電子級水的技術指標應符合表1的規(guī)定。
表1 電子級水的技術指標
級別指標 | EW-I | EW-Ⅱ | EW-Ⅲ | EW-Ⅳ |
電阻率MΩ﹒cm(25℃) | 18以上(95N時間)不低于17 | 15(95N時間)不低于13 | 12.0 | 0.5 |
全硅，最大值，μg/L | 2 | 10 | 50 | 1000 |
>1μm微粒數(shù)，最大值，個/mL | 0.01 | 5 | 10 | 500 |
細菌個數(shù)，最大值，個/mL | 0.01 | 0.1 | 10 | 100 |
銅最大值，μg /L | 0.2 | 1 | 2 | 500 |
鋅，最大值，ug/L | 0.2 | 1 | 5 | 500 |
鎳，最大值．μg/L | 0.1 | 1 | 2 | 500 |
鈉．最大值，μg /L | 0.5 | 2 | 5 | 1000 |
鉀，最大值．ug/L | 0.5 | 2 | 5 | 500 |
氯，最大值．ug/L | l | l | 10 | 1000 |
硝酸根，最大值，ug/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
磷酸根，最大值．ug/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
硫酸根，最大值 ug/L | 1 | 1 | 5 | 500 |
總有機碳，最大值，ug/L | 20 | 100 | 200 | 1000 |
6試驗方法
6.1電阻率
電子級水的電阻率按GB/T 11446.4–1997的測試方法進行測定．
6.2全硅含量（以二氧化硅計）
電子級水全硅（以二氧化硅計）含量按GB/T 11446.6–1997的測試方法進行測定。
6.3微粒數(shù)
電子級水中微粒數(shù)按GB/T 11446.9–1997的測試方法進行測定．
6.4細菌總數(shù)
電子級水中細菌總數(shù)按GB/T 11446.10–1997的測試方法進行測定。
6.5痕量金屬含量
電子級水中痕量金屬的含量按GB/T 11446. 5–1997的測試方法進行測定。
6.6氯離子，硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量
電子級水中氯離子、硫酸根離子、硝酸根離子、磷酸根離子等陰離子的含量按GB/T 11446.7–
1997的測試方法進行測定．
6.7總有機碳含量
電子級水中總機碳含量按GB/T 11446.8–1997的測試方法進行測定。
7 檢驗規(guī)則
7.1檢驗部門
電子級水的檢驗均應在制造廠的水質(zhì)檢驗部門進行．
7.2檢驗分類
電子級水的檢驗分為交收檢驗和例行檢驗．
7.3交收檢驗（抽驗項目）
7.3.1電子級水技術指標中電阻率、鈉離子、全硅（以二氧化硅計）為交收檢驗項目。
7.3.2在用水終端采樣試驗后檢驗結果如有一項不合格時，應再次采樣進行檢驗，如仍有一項指標不
合格，應提出改進措施直到水質(zhì)合格。
7.4例行檢驗（全檢項目）
例行檢驗每年進行一次，當制水條件發(fā)生變更時也應進行例行檢驗。
7.4.1檢驗項目為表1規(guī)定的全部技術指標要求．
7.4.2在用水終端采樣后進行例行檢驗，檢驗結果如有一項以上不合格時，應再次采樣進行檢驗，如仍有一項以上指標不合格，應提出改進措施直到水質(zhì)合格．
8采樣、貯存、運輸及標志
8.1 電子級水的采樣、貯存運輸按GB/T 11446. 3–1997的規(guī)定．
8.2標志;在用水終端采樣進行檢驗時，水質(zhì)合格后應附有檢驗合格證，合格證應注明；
a) 名稱及級別;
b) 各項技術指標;
c) 制水單位;
d) 供水日期；
e) 檢驗員簽章及檢驗日期．